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当谈及“divot”时，多数人可能都会联想到当高尔夫球手的击球没有控制好时，杆头从草地上削去一块草皮而留下的洞。但是，对于器件制造商而言，这个词具有完全不同的含义。电路中，在有源区和被填充的隔离沟槽之间会出现一个divot（缺角）。在浅槽隔离（STI）工艺的化学机械抛光模块中，沿着SiO2／Si界面出现的机械应力通常会导致缺角的产生。