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传统灰度归一化互相关匹配算法存在匹配时间太长及不适合旋转情况匹配的缺点。提出改进的层叠二分互相关匹配算法,通过将图像多次缩小一半后进行粗匹配,再依次返回到缩小之前的图像上进行小范围的精匹配来减小匹配时间;并提出旋转搜索窗口的方法来使算法适合旋转的匹配;通过使用增量法计算互相关值来进一步减小匹配时间;最后研究了改进的算法在SMD缺陷检测中的应用并进行实验测试,结果表明算法能够快速准确检测元件的位置偏移和角度偏转。