基于AFAM纳米多孔氧化硅薄膜超声幅值成像的试验研究

来源 :北京工业大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：myloft2w

【摘要】

：

为研究原子力声学显微镜(atomic force acoustic microscopy,AFAM)技术检测纳米多孔氧化硅薄膜的超声幅值成像的影响因素,通过基于AFAM技术的谐振频率检测及超声幅值成像系统,试验得到了纳米氧化硅薄膜和纳米多孔氧化硅薄膜的前2阶接触谐振频率及其超声幅值成像,分析试验过程中的参数如激励频率、扫描频率对稳定性的影响及超声激励对纳米摩擦力的影响.试验结果显示,超声频率会影响

【作者】

：

张改梅曹玥宋晓利何存富洪富

【机构】

：

北京印刷学院印刷与包装工程学院,北京工业大学机械工程与应用电子技术学院

【出处】

：

北京工业大学学报

【发表日期】

：

2018年05期

【关键词】

：

原子力声学显微镜纳米薄膜幅值成像超声激励 atomic force acoustic microscopenano-filmamplitude imagi

【基金项目】

：

国家自然科学基金资助项目（51305038）

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