【摘 要】
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针对无阀微泵背压能力较弱等问题,采用MEMS技术制作出不同结构参数的双腔和单腔微泵体,构建了基于电机驱动的磁力式双腔串联无阀微泵测控系统。实验结果表明,泵腔面积相等的
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针对无阀微泵背压能力较弱等问题,采用MEMS技术制作出不同结构参数的双腔和单腔微泵体,构建了基于电机驱动的磁力式双腔串联无阀微泵测控系统。实验结果表明,泵腔面积相等的情况下,圆形泵腔的微泵流量大于椭圆形泵腔的流量;随着驱动频率的升高,双腔串联微泵的流量呈现高斯分布,并在20 Hz附近处出现流量峰值,微泵的最大流量可达1.5 mL/min,微泵的截止背压为170mmH2O,双腔串联微泵比单腔微泵的流量增大约80%。
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