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本文介绍了几种集成电路物工艺中高精度电阻和电容的制作方法.
高精度电阻、电容形成技术
【摘 要】
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本文介绍了几种集成电路物工艺中高精度电阻和电容的制作方法.
【机 构】
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中国电子科技集团公司第58研究所
【出 处】
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电子与封装
【发表日期】
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2004年2期
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