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晶片切割时产生的粗糙度，是一种在很小间距内的表面凹凸现象，它是“光滑”或“粗糙”感觉的基础。针对砷化镓晶体多线切割工艺对后续晶片加工表面质量的影响，展开了实验研究。采取对砂浆使用次数进行控制的方法，达到了减小晶片粗糙度的效果，为后续工段加工晶片减少了难度。
晶体多线切割工艺中晶片粗糙度的控制研究
【摘 要】
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晶片切割时产生的粗糙度，是一种在很小间距内的表面凹凸现象，它是“光滑”或“粗糙”感觉的基础。针对砷化镓晶体多线切割工艺对后续晶片加工表面质量的影响，展开了实验研究。采取对砂浆使用次数进行控制的方法，达到了减小晶片粗糙度的效果，为后续工段加工晶片减少了难度。
【机 构】
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云南鑫耀半导体材料有限公司
【出 处】
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云南化工
【发表日期】
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2022年07期
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