【摘 要】
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用200～320nm的光辐照硅烷和臭氧的混合物,生成细小的二氧化硅颗粒(质点)。假设这样一种机理:在气相中硅烷与臭氧进行氯化,形成二氢化硅核,并在核的表面上由硅烷与O_2(′△)或O
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用200～320nm的光辐照硅烷和臭氧的混合物,生成细小的二氧化硅颗粒(质点)。假设这样一种机理:在气相中硅烷与臭氧进行氯化,形成二氢化硅核,并在核的表面上由硅烷与O_2(′△)或O(′D)核素进行多相反应使核长大。生成的细小颗粒用光—散射的方法,仅用1毫升样品,就很容易检测5vppm以下的硅烷(美国政府工业卫生会议推荐的允许极限值为5vppm)。
A mixture of silane and ozone is irradiated with light of 200 to 320 nm to produce fine silica particles (particles). Assuming a mechanism in which silane and ozone are chlorinated in the gas phase to form a silicon dihydride nucleus and a multi-phase reaction of silane and O 2 (’△) or O (’ D) nuclides to nucleus on the surface of the nucleus grow up. Smaller particles generated can easily detect silanes as low as 5 vppm (as recommended by the U.S. Government Industrial Hygienists, 5 vppm limit) using a light-scattering method with just 1 mL of sample.
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