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在集成电路厂房产品制造过程中会产生有毒有害的工艺废气。由于制造工艺复杂,使用的气体与化学品种类多样,仅使用集中废气处理设备无法高效地去除废气中的各种有害成分。结合工程实例,介绍了集成电路厂房工艺排风本地处理设备的作用、分类、工作原理与选用。采样分析结果表明,设备运行稳定,废气去除效率均高于90%。