论文部分内容阅读
利用朗缪尔探针,诊断了Pw=650W、Im=145 A、p=0.1 pa条件下在微波电子回旋共振等离子体增强有机金属化学气相沉积ECR-PEMOCVD装置反应室中ECR等离子体密度和电子温度的空间分布规律并分析了磁场对等离子体分布的影响.上游Ⅰ区的等离子体受磁场梯度影响、按磁场位形扩散且等离子体分布不均匀;下游U区的等离子体具有良好的径向分布均匀性.下游Ⅱ区z=30cm、直径为16 cm区域内等离子体密度均匀性达到了96.3%.这种大面积均匀分布的等离子体在等离子体加工工艺中具有广泛的应用.