用于生物芯片的标准CMOS工艺光电传感器

来源 :微电子学与计算机 | 被引量 : 0次 | 上传用户：guoyh

【摘要】

：

在分析光电二极管转化效率的基础上,分别使用nwell/psub光电二极管和p＋/nwell光电二极管设计了有源像素单元.采用SMIC0.18μm工艺流片.测试结果显示使用nwell/psub二极管的有

【作者】

：

王为刘楠洪志良

【机构】

：

复旦大学专用集成电路与系统国家重点实验室

【出处】

：

微电子学与计算机

【发表日期】

：

2008年5期

【关键词】

：

CMOS 光电二极管灵敏度 nwell/psub p+/nwell CMOS photodiode sensitivity nwell/psub p＋

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在分析光电二极管转化效率的基础上,分别使用nwell/psub光电二极管和p＋/nwell光电二极管设计了有源像素单元.采用SMIC0.18μm工艺流片.测试结果显示使用nwell/psub二极管的有源像素单元对黄光的灵敏度是3.32V/lx.s,对绿光的灵敏度是2.79V/lx.s,使用p＋/nwell二极管的有源像素单元对黄光灵敏度是0.69V/lx.s、对绿光的灵敏度是0.52V/lx.s.

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