SAPS法沉积Ni-Mn-Mg-Al-O系负温度系数热敏厚膜及其性能研究

来源 :电子元件与材料 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jiu_yue9
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首次采用超音速等离子喷涂(SAPS)方法在氧化铝基板上沉积了Ni0.6Mg0.3Mn13Al0.8O4厚膜,利用扫描电子显微镜、X射线衍射和电阻-温度特性测试仪研究了热处理温度对沉积厚膜性能的影响规律。结果表明:随热处理温度的升高,沉积厚膜的平均晶粒尺寸增大,尖晶石相增多;当热处理温度低于500℃时,所制厚膜的电阻-温度曲线在室温到80℃的温度范围内呈现v型特征,而在800℃和1200℃处理后,厚膜的电阻在室温至200℃的温度区间内呈现良好的负温度特性。
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