O2非平衡态等离子体中电子平均能量的谱线监测

来源 :光谱学与光谱分析 | 被引量 : 0次 | 上传用户：jake7

【摘要】

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采用蒙特卡罗方法,模拟了O2非平衡态直流放电等离子体过程.计算了不同E/N条件下电子在氧气中的漂移速度,结果与实验数据符合得很好.模拟了电子平均能量和电子激发态粒子数随E

【作者】

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董丽芳殷燕

【机构】

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河北大学物理科学与技术学院

【出处】

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光谱学与光谱分析

【发表日期】

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2005年9期

【关键词】

：

非平衡态等离子体电子平均能量蒙特卡罗模拟 Non-equilibrium plasma Mean electron energy Monte Carlo

【基金项目】

：

国家自然科学基金，河北省自然科学基金

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采用蒙特卡罗方法,模拟了O2非平衡态直流放电等离子体过程.计算了不同E/N条件下电子在氧气中的漂移速度,结果与实验数据符合得很好.模拟了电子平均能量和电子激发态粒子数随E/N的变化关系.提出了一种通过监测两条紫外谱线202.6和280 nm强度之比来监测电子平均能量的方法.该方法对于非平衡态气体放电等离子体在材料制备、激光应用及微电子技术等领域中的应用具有重要意义.

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