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提出一种柔性铰链机构的参数化有限元建模方法，利用有限元软件ANSYS提供的参数化程序设计语言APDL编制程序，在ANSYS中自动生成有限元分析模型。采用该方法分析了柔性铰链最小厚度，切割半径、宽度的加工误差，以及切割圆弧轴心线绕X轴、y轴、z轴的转角误差对柔性铰链机构位移性能的影响情况。分析结果表明，柔性铰链最小厚度的加工误差是对柔性铰链机构位移性能影响最大的因素。