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为了制备平整的氧传感器芯片空气孔道,采用了丝网印刷的方法。相应配制了一种适印性的炭浆,优化的条件为：优选了活性炭和松油醇、最佳的球磨级配为mΦ6.5∶mΦ3=1∶2、球磨时间为12 h、分散剂含量为30%、胶含量为5%。在优化的条件下制备的空气孔道平整稳定,该制备方法具有精度高、形状平整可控、成本低以及操作简便等优点。