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利用飞秒激光双光子聚合法制作达曼光栅
利用飞秒激光双光子聚合法制作达曼光栅
来源 :河北工业大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:C1335639
【摘 要】
:
使用中心波长为800nm的飞秒激光振荡器,通过研究双光子聚合工艺,得出降低加工功率、曝光时间以及提高加工速度,有利于空间分辨率的提高.在上述研究结果的基础上制作了一个1×
【作 者】
:
李珣
张德祥
贾威
王清月
【机 构】
:
天津大学精密仪器与光电子工程学院
【出 处】
:
河北工业大学学报
【发表日期】
:
2008年3期
【关键词】
:
飞秒激光
双光子聚合
曝光时间
激光能量
加工速度
达曼光栅
femtosecond laser
two-photon photopolymerization
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使用中心波长为800nm的飞秒激光振荡器,通过研究双光子聚合工艺,得出降低加工功率、曝光时间以及提高加工速度,有利于空间分辨率的提高.在上述研究结果的基础上制作了一个1×7点阵的达曼光栅,制作结果表明双光子聚合技术在制作微光学元件方面有着非常好的应用前景.
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