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研究了热处理温度、时间及降温方式对不同氧、氮含量的氩气氛直拉硅（ＡＣＺ）及氮气氛直拉硅（ＮＣＺ）抗弯强度（σ）的影响规律。结果表明：硅氧络合物和氮硅氧络合物的生成使抗弯强度提高，沉淀的形成使强度下降。提出了既能消除热施主、又可避免强度降低的６５０℃热处理两段冷新工艺
热处理对硅片抗弯强度的影响
【摘 要】
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研究了热处理温度、时间及降温方式对不同氧、氮含量的氩气氛直拉硅（ＡＣＺ）及氮气氛直拉硅（ＮＣＺ）抗弯强度（σ）的影响规律。结果表明：硅氧络合物和氮硅氧络合物的生成使抗弯强度提高，沉淀的形成使强度下降。提出了既能消除热施主、又可避免强度降低的６５０℃热处理两段冷新工艺
【出 处】
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中国有色金属学报
【发表日期】
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1997年01期
【基金项目】
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国家教委硅材料国家重点实验室基金；
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