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真空镀膜设备是电子工业元器件生产和研制过程中广泛使用的设备 ,本文就DMF- 70 0电子束真空镀膜设备在实际工作中出现的主要故障进行分析 ,并给出故障排查的方法
真空镀膜机的原理及故障分析
【摘 要】
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真空镀膜设备是电子工业元器件生产和研制过程中广泛使用的设备 ,本文就DMF- 70 0电子束真空镀膜设备在实际工作中出现的主要故障进行分析 ,并给出故障排查的方法
【机 构】
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南京电子器件研究所
【出 处】
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光电子技术
【发表日期】
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2002年02期
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