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设计一种湿度传感器。该传感器选用聚酰亚胺作为湿度传感器的感湿介质，采用叉指电容式结构以增加感湿灵敏度，以电荷转移电路为微电容测量电路，用0．35μm多晶硅栅进行设计，形成单片集成湿度传感器。整个组成电路均与CMOS工艺兼容。仿真结果表明：在测量激励方波激励下，片上湿度传感器在27℃下模拟显示出较好的直流电压输出特性。