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通过实例介绍运用高分辨X射线衍射分析技术对GaN异质外延薄膜材料的微结构进行研究，希望能获得不同缓冲层生长与优化工艺以及结构模型对其结构特性参数影响方面的信息，为GaN材料和器件制备者提供有用的参考。
六角相GaN外延膜的高分辨X射线衍射分析研究
【摘 要】
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通过实例介绍运用高分辨X射线衍射分析技术对GaN异质外延薄膜材料的微结构进行研究，希望能获得不同缓冲层生长与优化工艺以及结构模型对其结构特性参数影响方面的信息，为GaN材
【机 构】
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电子科技大学电子薄膜与集成器件重点实验室
【出 处】
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功能材料
【发表日期】
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2007年A10期
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