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采用激光脉冲沉积法在钛酸锶SrTiO3(001)斜切基片上外延生长YBa2Cu3O7-δ薄膜,在大气环境下采用扫描探针显微镜对YBa2Cu3O7-δ薄膜的表面纳米形貌进行直接观察.发现YBa2Cu3O7-δ薄膜具有相对光滑的表面形貌,薄膜表面由沿SrTiO3台阶趋向外延生长的纳米台阶组成,薄膜生长模式主要以台阶媒体生长为主.