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纳米电子器件是微电子器件发展的下一代，现有微电子器件的主要材料是极纯的硅、锗和镓砷等晶体地体。纳米电子器件有可能是以有机或有机／无机复合本薄膜为主材料，要求纯度更高，结构更完善。真空制备的清洁环境，有希望加工组装出纳米电子器件所要求的结构。故本文建议开展真空化学研究。
纳米电子器件呼唤真空化学研究
【摘 要】
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纳米电子器件是微电子器件发展的下一代，现有微电子器件的主要材料是极纯的硅、锗和镓砷等晶体地体。纳米电子器件有可能是以有机或有机／无机复合本薄膜为主材料，要求纯度更高，结
【机 构】
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北京大学电子学系
【出 处】
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真空科学与技术
【发表日期】
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1999年6期
【基金项目】
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国家自然科学基金! (6 9890 2 2 1 )
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