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基于压阻效应的硅压阻式压力传感器因其输出灵敏度高而广泛用于各种压力测试场合。但压阻效应受温度影响较大,传感器的设计中必须设计相应的温度补偿方法来弥补其不足。本文主要阐述一种基于电阻网络的硬件温度补偿方法,促进该方法在压阻传感器技术中的应用。
硅压阻式压力传感器的硬件温度补偿方法概述
【摘 要】
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基于压阻效应的硅压阻式压力传感器因其输出灵敏度高而广泛用于各种压力测试场合。但压阻效应受温度影响较大,传感器的设计中必须设计相应的温度补偿方法来弥补其不足。本文
【机 构】
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珠海通用航空研发制造基地
【出 处】
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科学与信息化
【发表日期】
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2019年19期
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