【摘 要】
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本文介绍了国内晶圆传输机械手的发展现状和泰道公司的多轴控制器IMAC400的特点,并以R-θ型双臂晶圆传输机械手为例,讲解了利用IMAC400进行控制系统设计的思路。试验证明,利
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十五研究所,
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本文介绍了国内晶圆传输机械手的发展现状和泰道公司的多轴控制器IMAC400的特点,并以R-θ型双臂晶圆传输机械手为例,讲解了利用IMAC400进行控制系统设计的思路。试验证明,利用IMAC400作为晶圆传输机械手的运动控制器,开发周期短,机械手运行稳定,控制精度高,完全满足机械手运动控制器的要求。
This paper introduces the development status of the domestic wafer transfer robot and the characteristics of the multi-axis controller IMAC400 of the Tao company. The paper takes the R-θ arms transfer robot as an example to explain the idea of using the IMAC400 to design the control system. Experiments show that the use of IMAC400 as a wafer transfer robot motion controller, the development cycle is short, stable operation of the robot, the control of high precision, fully meet the requirements of the robot motion controller.
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