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多线列激光雷达具有广泛的需求,而现在的激光雷达探测处理电路多采用分立元器件组成,且探测器与处理电路相分离,存在体积大、成本高、可靠性差等问题。针对上述问题,本文基于系统级封装技术,设计了一种集成化的16元激光雷达模拟前端微组件,对多元激光雷达微组件的研究具有重要的现实意义。该组件集成了16元线列雪崩光电二极管探测器、自研的多通道激光雷达模拟前端读出电路芯片、温度传感器和半导体制冷器等,实现了探测、处理和温控一体化。测试表明,微组件的恒温稳定性为0.07℃,其带宽可达190 MHz,集成化微组件的噪声水平相