【摘 要】
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请下载后查看，本文暂不支持在线获取查看简介。射频溅射两步法制备立方氮化硼(c-BN)薄膜@冯贞健$北京工业大学教育部新型功能材料重点实验室!北京100022@邢光建$北京工业大学
【机 构】
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北京工业大学教育部新型功能材料重点实验室,北京工业大学教育部新型功能材料重点实验室,北京工业大学教育部新型功能材料重点实验室,北京工业大学教育部新型功能材料重点实验室,北京工业大学教育部新型功能材料重
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请下载后查看，本文暂不支持在线获取查看简介。射频溅射两步法制备立方氮化硼(c-BN)薄膜@冯贞健$北京工业大学教育部新型功能材料重点实验室!北京100022@邢光建$北京工业大学教育部新型功能材料重点实验室!北京100022@陈光华$北京工业大学教育部新型功能材料重点实验室!北京100022@于春娜$北?
Please download to view, this article does not support online access to view profile. Preparation of cubic boron nitride (c-BN) thin film by two-step RF sputtering @ FENG Zhenjian Key Laboratory of Novel Functional Materials, Ministry of Education, Beijing University of Technology, Beijing 100022 @ Xing Guangjian Beijing Key Laboratory of Novel Functional Materials, Ministry of Education, 100022 @Chen Guanghua (Key Laboratory of Novel Functional Materials, Ministry of Education, Beijing Polytechnic University, Beijing 100022)
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