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论述了晶体生长控制中高分辨力称重系统的实现技术。重点介绍了传感器的选型方法和信号调理电路的设计技术。系统达到了二十万分之一的有效分辨力。
晶体生长控制中的高分辨力称重系统
【摘 要】
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论述了晶体生长控制中高分辨力称重系统的实现技术。重点介绍了传感器的选型方法和信号调理电路的设计技术。系统达到了二十万分之一的有效分辨力。
【机 构】
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西安理工大学工厂,中国电子科技集团公司第49研究所
【出 处】
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传感器技术
【发表日期】
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2003年01期
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