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针对差分式电容传感器,提出了一种结构简单的低噪声、低失调电容读出电路.该电路由2相非交叠时钟控制,且对电路的寄生电容不敏感,可直接将传感器电容的变化量转化为电压信号输出.相关双采样(CDS,correlated double sampling)技术有效降低了电路的低频噪声和失调电压的影响,提高了读出电路的分辨率和动态范围.读出电路在0.35μm 2P4M标准CMOS工艺下设计流片,芯片面积为0.7mm×1.8mm,5V电源电压.电路工作在1MHz的时钟频率下,实现了0.4aF/√Hz的电容分辨率