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本文叙述了AlN粉体的定义和分类及其在电子工业中应用的重要意义。指出技术指标的要求是多方面的、严格的、特别是对O和C含量的控制更是十分关注。最后结论指出：日后我国AIN粉体的产品质量会日益提高,整个行业也将得到快速的发展。
AlN粉体与颗粒
【摘 要】
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本文叙述了AlN粉体的定义和分类及其在电子工业中应用的重要意义。指出技术指标的要求是多方面的、严格的、特别是对O和C含量的控制更是十分关注。最后结论指出：日后我国AIN粉
【机 构】
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北京真空电子技术研究所
【出 处】
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真空电子技术
【发表日期】
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2015年6期
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