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文章介绍了一种利用MEMS技术制作加工的电容式微型真空传感器.该传感器采用p++硅自停止腐蚀技术和硅一玻璃键合技术制作,形成了硅-玻璃-硅的三明治结构,使得该传感器结构简单、灵敏度高.传感器输出的电压信号经过信号处理电路进行放大、处理,实验数据表明,传感器的电容值与真空度成线性关系,满足测量的要求.