微电子工艺实习教学改革探索

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利用多媒体教学手段和学院微电子器件实验室为教学实习基地,克服了微电子专业在材料、设备、超净环境等方面需要很大投入这一特点给实践课教学带来的困难,对《微电子工艺实习》实践课教学进行改革,建立了由教学内容的准备、多媒体教学、参观工厂生产线与实际动手流片、完善有效的实验考核方案四部分组成的教学方式,使实践课达到了教学直观和知识系统化的目的[1]。 The use of multimedia teaching methods and college microelectronic devices laboratory as a teaching practice base to overcome the microelectronics profession in materials, equipment, clean environment and other aspects of the need for a lot of investment in teaching practice to practical difficulties, the “micro Electronic process intern ”practice teaching reform, established by the teaching content preparation, multimedia teaching, visit the factory production line with the actual hands-on film, improve the effective experimental evaluation program composed of four parts of teaching methods, so that the practical lesson reached the teaching intuitive And the purpose of knowledge systematization [1].
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