【摘 要】
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在北京市科委的领导和支持下,我校精密仪器系研制成功 ZLJS-75型自动调焦紫外曝光分步重复照像机(简称铬版精缩机),并于1982年11月在北京通过技术鉴定。经北京半导体器件二厂
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在北京市科委的领导和支持下,我校精密仪器系研制成功 ZLJS-75型自动调焦紫外曝光分步重复照像机(简称铬版精缩机),并于1982年11月在北京通过技术鉴定。经北京半导体器件二厂、1425所、774厂等使用,性能良好,结构合理、操作方便。与会专家们认为:这是我国第一台具有微米加工能
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