微机械振动陀螺的耦合误差和隔离耦合的结构设计

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微机械振动陀螺是近几年发展起来的新型惯性元件,其误差源主要有微机械结构的 Brownian噪声、电路噪声、机械耦合误差及电子机械耦合误差等,这些误差严重影响陀螺仪的精度.本文提出了单级隔离耦合和双级隔离耦合的结构方案,有效减小机械耦合误差,提高精度.
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