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通过对半导体气敏元件基体材料和制作工艺的分析研究，指出了提高气敏元件检测能力的途径。采用添加技术，超微细化技术，表面修饰技术和控制工作温度，可提高气敏元件的灵敏度和选择性。恒流加热法是提高气敏元件热稳定性的主要手段，新材料，新技术的引入将进一步改进半 气敏元件的性能。
提高半导体气敏元件检测能力的研究
【摘 要】
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通过对半导体气敏元件基体材料和制作工艺的分析研究，指出了提高气敏元件检测能力的途径。采用添加技术，超微细化技术，表面修饰技术和控制工作温度，可提高气敏元件的灵敏度和选择
【机 构】
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太原理工大学图书馆
【出 处】
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太原理工大学学报
【发表日期】
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2000年2期
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