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基于AFM力曲线的纳米梁厚度的非破坏测量方法
基于AFM力曲线的纳米梁厚度的非破坏测量方法
来源 :功能材料与器件学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:selene1988
【摘 要】
:
本文阐述了基于原子力显微镜(AFM)的弯曲测试测量纳米梁厚度的理论和方法,并界定了基于AFM的厚度测量方法的适用条件,对基于AFM的厚度测量的两个典型应用进行了介绍。对硅纳米
【作 者】
:
栗大超
徐临燕
傅星
胡小唐
【机 构】
:
天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
【出 处】
:
功能材料与器件学报
【发表日期】
:
2008年2期
【关键词】
:
纳机电系统
纳米梁
厚度测量
AFM
弯曲测试
nanoelectromechanical system nanobeam thickness measur
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本文阐述了基于原子力显微镜(AFM)的弯曲测试测量纳米梁厚度的理论和方法,并界定了基于AFM的厚度测量方法的适用条件,对基于AFM的厚度测量的两个典型应用进行了介绍。对硅纳米梁进行了厚度测量,并进行了重复性实验,梁的平均测量度为160.36nm。
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