论文部分内容阅读
根据最小二乘法原理，直接对法布里—泊罗标准具产生的干涉条纹进行拟合，在拟合过程中充分考虑了矩阵的病态条件，推导出光波波长与拟合方程系数间的关系。利用干涉条纹数字化方法求出了光波波长，这种方法克服了传统方法难以对准中心（圆心）和干涉条纹发生畸变时不能保证△r^2恒为常量的缺陷。利用此方法可实现特殊形状工件的精密测量，提高测量精度。试验结果表明：系统对工件的测量精度可达到10μm量级，并可实现大规模快速测量。