论文部分内容阅读
阐述ICP光源中射频功率测量的意义,提出了测量范围为100~1 500 W,频率为27.12 MHz的功率测量装置的设计方案。详细分析了射频功率测量装置中的电路设计,包括采样互感器、功率合成电路、幅度相位分析电路和移相电路,并给出了判断ICP光源负载状态和性质的方法。在实验中,利用BIRD43型功率计和BIRD4304A型功率计对射频功率测量装置进行了参数校准。