【摘 要】
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将MEMS器件与CMOS电路集成在同一个芯片上具有体积小、噪声小、便于控制、易于大批量生产等优点,本文从风速计的工作场入手,运用了有限元、数据拟合、等效电路及SPICE宏单元
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将MEMS器件与CMOS电路集成在同一个芯片上具有体积小、噪声小、便于控制、易于大批量生产等优点,本文从风速计的工作场入手,运用了有限元、数据拟合、等效电路及SPICE宏单元的方法对片上系统进行模拟,从而直接模拟出信号状况,有利于片上处理电路和控制电路的匹配设计,提高了设计效率.文中给出了风速计流体场的有限元分析结果,并通过拟合的方法将输出的温度差输出到电路等效的热堆,信号和噪声经过片上集成的放大器输出到芯片外,有利于温度场、热敏感元件、放大电路的优化设计.
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