LaB_6阴极在电子束曝光机中的应用研究

来源 :微细加工技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：yanwuhui

【摘要】

：

本文报告了LaB_6阴极在电子束曝光机中的应用特性,叙述了一些有重要意义的实验结果。 In this paper, we report the application characteristics of LaB_6 cathode in ele

【作者】

：

周开宇庄炳河吴永卫

【机构】

：

机械电子工业部第48研究所,机械电子工业部第48研究所,机械电子工业部第48研究所长沙 410111,长沙 410111,长沙 410111

【出处】

：

微细加工技术

【发表日期】

：

1992年03期

【关键词】

：

阴极材料 LaB_6 应用研究应用特性磁透镜真空度高压电源微电流电流放大器负载能力

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

本文报告了LaB_6阴极在电子束曝光机中的应用特性,叙述了一些有重要意义的实验结果。 In this paper, we report the application characteristics of LaB_6 cathode in electron beam lithography, and describe some important experimental results.

其他文献

钝性分离及镊撕法联合丝裂霉素C与常规单纯切除法治疗原发性翼状胬肉疗效的比较

我们自1999年3月至2005年6月对126例168眼翼状胬肉患者,采用钝性分离和镊撕法联合丝裂霉素C(MMC)及常规单纯切除法进行治疗,就其疗效报告如下。对象与方法1.一般资料:本组126

期刊

原发性翼状胬肉丝裂霉素性分切除法翼状胬肉角膜创面胬肉组织手术显微镜虹膜恢复器角膜缘

来料加工运输车有“门槛”

在去拜访深圳市龙岗区和永盛隆纸品厂李学海经理的路上,记者顺道大概数了一下,一路上见到的轻卡中大致有一半是江铃品牌;随行的朋友告诉记者,深圳市的厢式货车大约50%都是江

期刊

江铃纸品厢式货车运输车盛隆深圳市龙岗区门槛国川标准马鑫车型

CM509AP-2双四选—模拟开关的工艺设计

本文介绍了CM509AP-2双四选一模拟开关电路的工艺设计及电路性能。电路采用外延衬底材料,两次注入源/漏区,以提高击穿电压。制作出的电路在±15V下工作,±22V下无闭锁效应。

期刊

模拟开关CM509AP-2工艺设计IC外延衬底闭锁效应漏区外延层开关电路击穿电压

Elschnig珍珠个体形态的每日变化

PURPOSE: To observe and document the daily changes in the morphology of Elschnig pearls. DESIGN: A prospective cohort study. METHODS: Twenty-nine pseudophakic e

期刊

个体形态珍珠小体后部反光照明法后囊混浊人工晶状体眼前瞻性队列研究定量分析短期Elschnig

广东省中山市南头三鑫学校为学生服务拜学生为师

广东省中山市南头三鑫学校建校五年,“为学生服务,拜学生为师”的“学生第一”办学理念深受学生和家长欢迎。学校将德育处和教务处着力打造为“培养好习惯研究中心”和“提升

期刊

广东省中山市南头上级主管单位交流研究德育处体育教育研究中心特色课程开放办学教务处

基于地理信息系统(GIS)的液氯泄漏扩散模拟研究

目的建立有效快速的液氯泄漏扩散模拟系统,便于快速确定不同液氯泄漏量及时间的影响范围,为事故应急救援及日常应急演练提供决策依据。方法采用SLAB泄漏扩散模型,建立基于GIS

期刊

液氯GIS泄漏扩散模拟系统输送管线氯碱企业扩散范围区域地图泄漏量罐体

《生态环境》2003年第12卷总目次

第1期研究报告不同消解方法对土壤样品中汞含量测定的影响 ………………………………………………………………丁振华,王文华(1) 腐殖酸对铜的吸附与解吸特征 ………………

期刊

生态环境重金属污染何江华万洪富龚子同李光林人工林生态系统生物通风土壤吸附植物效应

东莞市场：中轻型卡车运输占主流

广东东莞,是一个以来料加工为主体的中型城市,它位于广东省中南部、珠江三角洲东北部,北距广州50公里,南离深圳90公里,水路至香港47海里,至澳门48海里,是广州与香港之间水陆

期刊

东莞国际知名公司暂住人口广东省中南部公路运输中轻型电子产品珠江三角洲轻型车中型车

历史是面镜子——反映民族区域自治创建的成功之作

民族区域自治是中国共产党解决中国民族的基本政策。从内蒙古自治区建立开始,这项政策已经实施了整整60年。内蒙古自治区的成立,是一个具有开创意义的历史事件。作为中国第一

期刊

电视剧创作开创意义历史事件德王蒙古民族民族问题乌兰夫民族政策嘎达梅林中国民族

IMAX:从“看”电影到“感受”电影

近日,知名编剧宁财神在微博上批评不少影院为了省钱,故意调暗放映机灯泡的做法,称此举迟早会毁掉花大价钱制造出来的3D大片。不少网友纷纷回复表示,自己也有因为光线而影响3D

期刊

IMAX宁财神灯泡寿命影业公司技术副总裁投影技术数字音响放映技术花大品牌口号

LaB_6阴极在电子束曝光机中的应用研究

与本文相关的学术论文