【摘 要】
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新一代半导体生产设备的涌现,需要低成本、高精度的压力监控方案;随着半导体生产设备的日趋复杂,对液体和气体压力的监控就越来越重要.传感器被广泛地应用于这一领域.尽管在
【机 构】
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美国Honeywell公司MicroSwitch分部微结构传感器,霍尼韦尔公司北京办事处董事经理
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新一代半导体生产设备的涌现,需要低成本、高精度的压力监控方案;随着半导体生产设备的日趋复杂,对液体和气体压力的监控就越来越重要.传感器被广泛地应用于这一领域.尽管在许多场合,传感器独一无二的设计与精度的要求具有决定性的作用,但传感器的成本与有效性(性能价格比)也是十分重要的.例如,高精度的电子气流传感器已经存在了许多年,但是对于半导体生产的应用而言,开发出适合这一领域的陶瓷管气流传感器是众所瞩目的.目前硅压阻压力传感器和针对差压测量设计的气流传感器是两种十分坚固的、具有良好的性能价格比的传感器.每种类型都有许多优点适用于半导体生产,而且有不同的封装类型以充分利用其优点.本文针对它们的操作原理、优点以及不同封装设计在半导体生产中的应用作一介绍.
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