（TiFeCr）N多元膜的氧化行为

来源 :中国有色金属学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：woshi8848

【摘要】

：

研究了同时加入Fe与Cr进行改性的(TiFeCr)N多元膜的高温氧化行为.结果表明:当氧化温度高于600℃时,这种多元膜的氧化增质均低于TiN膜;800℃氧化后膜层完整,没有出现类似TiN膜

【作者】

：

谢致薇白晓军蒙继龙谢光荣胡社军

【机构】

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华南理工大学机械电子工程系,广东工业大学材料与能源学院

【出处】

：

中国有色金属学报

【发表日期】

：

2001年6期

【关键词】

：

多元膜离子镀高温氧化热重分析 X射线衍射 multicomponent films ion plating hightemperature oxida

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研究了同时加入Fe与Cr进行改性的(TiFeCr)N多元膜的高温氧化行为.结果表明:当氧化温度高于600℃时,这种多元膜的氧化增质均低于TiN膜;800℃氧化后膜层完整,没有出现类似TiN膜的局部脱落现象.基体对多元膜的氧化产物无明显影响,700℃氧化后两种基体上的多元膜均转变为TiO2(金红石);但基体对TiN膜的氧化产物却有明显影响,在Cu基体上膜层的氧化产物由TiO2及少量Ti3O5组成,而玻璃基体上膜层的氧化产物则由Ti3O5及少量TiO2组成.

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