【摘 要】
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利用亚毫米波准近场实时成像系统对三种常用的微小结构的工业电子排线进行检测，直接获得了样品在信号峰值处的强度图像。分别对样品中的金属、缺陷及包覆材料连接处抽取数据，并
【机 构】
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太赫兹波谱与成像北京市重点实验室,太赫兹光电子教育部重点实验室,首都师范大学物理系,哈尔滨工业大学物理系
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利用亚毫米波准近场实时成像系统对三种常用的微小结构的工业电子排线进行检测，直接获得了样品在信号峰值处的强度图像。分别对样品中的金属、缺陷及包覆材料连接处抽取数据，并对其进行频谱及相位处理，在时域、频域及相位图中做了对比与分析。通过对原始图像进行图像处理后，分别得到振幅和相位图像，其中相位图像能更清晰地反映排线中隐藏的缺陷。结果证明，亚毫米波准近场成像系统可以用于具有细微结构材料的羌损检测。
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