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基于第一性原理密度泛函理论探讨了四种典型SF6分解组分(SO2,SOF2,SO2F2以及H2S)分别在ZnO(0001)表面上的吸附以及传感性能。计算并比较了不同气体吸附所产生的吸附能、吸附距离、电荷转移、差分电荷密度,并通过能态密度计算探讨了气体分子与表面的化学相互作用。结果显示,四种气体分子均能与ZnO(0001)表面产生较强的化学吸附作用。除了SO2分子在吸附后还保留本身的分子结构外,其他三种分子均发生了不同程度的分解。SOF2与SO2F2表现为S-F键断裂而H2S表现为S-H键断裂。虽然计算结果显