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微驱动器是微型机电系统的关键部分.本文讨论了微驱动器中的微静电马达、微电磁马达、超声波马达、压电微驱动器、形状记忆合金微驱动器,并介绍了微驱动器的测试技术.
微型驱动器及其测试技术
【摘 要】
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微驱动器是微型机电系统的关键部分.本文讨论了微驱动器中的微静电马达、微电磁马达、超声波马达、压电微驱动器、形状记忆合金微驱动器,并介绍了微驱动器的测试技术.
【机 构】
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浙江广播电视大学萧山学院,浙江火电建设公司,浙江工业大学机电工程学院
【出 处】
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福建电脑
【发表日期】
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2002年5期
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