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本文采用微波等离子体化学气相沉积方法，以Ｃ６０膜作为过渡层，在石英衬底表面，首次在等离子体预处理中无衬底负偏压条件下的生长出金刚石晶粒。通过扫描电镜观察到金刚石晶粒呈菜花状，生长表现为（１００）晶界。
C60作为石英衬底过渡层气相生长金刚石薄膜
【摘 要】
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本文采用微波等离子体化学气相沉积方法，以Ｃ６０膜作为过渡层，在石英衬底表面，首次在等离子体预处理中无衬底负偏压条件下的生长出金刚石晶粒。通过扫描电镜观察到金刚石晶粒呈菜花状
【机 构】
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湘潭大学物理系,河南省基本与应用科学研究所
【出 处】
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金刚石与磨料磨具工程
【发表日期】
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1997年4期
【基金项目】
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湖南省自然科学基金,河南省基础与应用科学研究所的部分资助
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