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介绍了压痕测试法的最新发展,指出了确定超薄薄膜t＜10 nm及很硬的薄膜t＜100 nm的硬度及模量是对计量学中纳米范围的挑战.以压痕测试法替代显微维氏实验可显著地降低测量不确定度及实现自动化.压痕测试法在纳米范围及显微范围内可为微电子学、微电机械系统、技术光学等领域采用.
压痕测试法的新发展
【摘 要】
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介绍了压痕测试法的最新发展,指出了确定超薄薄膜t＜10 nm及很硬的薄膜t＜100 nm的硬度及模量是对计量学中纳米范围的挑战.以压痕测试法替代显微维氏实验可显著地降低测量不确定
【机 构】
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德国联邦物理技术研究院,不详
【出 处】
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中国计量学院学报
【发表日期】
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2006年3期
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