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短波紫外拉曼光谱仪具有拉曼散射强度高、荧光噪声和背景光噪声低等优点。为了实现短波紫外拉曼光谱仪的小型化并扩展其应用领域,开展了全固态266 nm激光拉曼光谱仪关键技术的研究。为了有效减小系统体积并提高系统的鲁棒性,采用激光二极管泵浦266 nm全固态激光器作为激发光源,设计了基于Littrow结构的固态光谱仪以获取短波紫外拉曼光谱信号。其中,准直/会聚物镜采用一片离轴抛物面反射镜,衍射元件采用高刻线密度的平面反射光栅,配合50 μm宽度的入射狭缝,在269~293.5 nm波段内光谱的分辨率优于0.07 nm,满足10 cm -1的拉曼光谱分辨率要求。构建了完整的拉曼光谱系统,实现了质量分数为99.8%的乙醇的拉曼特征峰的测试,验证了系统的可行性与合理性。