容栅传感器的误差平均效应

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介绍了容栅传感器的工作原理,分析了容栅传感器的精度,提出了一种容栅传感器刻线误差的新而具体的计算方法,按该方法计算出的结果与实测得到的结果极为吻合。据此,对容栅传感器的主要元件(动、定栅板)的制造精度要求不必过高。因而,这个计算方法具有重要的实用价值。 This paper introduces the working principle of capacitive grid sensor, analyzes the precision of capacitive grid sensor, and proposes a new and specific calculation method of capacitive grid capacitive sensor. The calculated results are in good agreement with the measured ones. According to this, the main components of the capacitive sensor grid (moving, fixed grid) manufacturing precision does not have to be too high. Therefore, this method of calculation has important practical value.
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