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为了研究SiC晶体光学方面的应用，利用飞秒激光冷加工的特点，对SiC晶体进行精微加工，研究了激光脉冲功率和扫描速率对光栅单元的影响，选取适合SiC晶体飞秒加工的工作条件，分别在晶体表面与内部加工出高质量的光栅。对加工好的光栅进行衍射通光实验，计算其各级衍射角，从而验证加工好的光栅周期；并在1300℃高温下进行退火实验，退火前后，光栅参量无明显变化。结果表明，该光栅适合在高温环境下使用。