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铜钨(钼)薄膜的结构演变及性能
铜钨(钼)薄膜的结构演变及性能
来源 :材料导报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jners08
【摘 要】
:
阐述了Cu—W(Mo)薄膜结构的演变与各种条件的关系,并分析了结构演变后薄膜的性能变化。结果表明,沉积条件、退火、离子束的轰击、辐照和薄膜成分比的变化都能引起薄膜的结构演
【作 者】
:
林良武
周灵平
孙心瑗
艾永平
【机 构】
:
湖南大学材料科学与工程学院
【出 处】
:
材料导报
【发表日期】
:
2004年F10期
【关键词】
:
结构演变
薄膜结构
性能变化
沉积条件
薄膜成分
结构变化
离子束
钼
钨
铜
辐照
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阐述了Cu—W(Mo)薄膜结构的演变与各种条件的关系,并分析了结构演变后薄膜的性能变化。结果表明,沉积条件、退火、离子束的轰击、辐照和薄膜成分比的变化都能引起薄膜的结构演变,其中离子束的轰击与辐照是研究薄膜结构变化的主要手段。
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