用微处理机对介质膜光学厚度“返转点”监控法的高精度改进

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本文简要地叙述了控制介质膜光学厚度的各种返转点监控法且指出了它们的缺点,同时介绍了一种新的十分精确地停止光学厚度为四分之一波长整倍数的介质膜层淀积的方法。并用两种方法镀制了窄带干涉滤光片,以峰值波长的重复性,对比了人工操作控制和微处理机自动控制系统的控制精度。 This paper briefly describes various methods for monitoring the optical thickness of dielectric films and points out their shortcomings. At the same time, it introduces a new kind of dielectric film that stops the optical thicknesses of an integral multiple of quarter-wave precisely Method of deposition. A narrowband interference filter was plated by two methods. The repeatability of peak wavelength was compared with that of manual control and microprocessor control system.
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